近年來(lái)的電路設(shè)計(jì)引入穩(wěn)頻、鎖相、溫度補(bǔ)償?shù)鹊匦录夹g(shù),利用磁阻來(lái)調(diào)制丈量信號(hào)。還采用磚利設(shè)計(jì)的集成電路,引入微機(jī),使丈量精度和重現(xiàn)性有了大幅度的進(jìn)步(幾乎達(dá)一個(gè)數(shù)目級(jí))?,F(xiàn)代的磁感應(yīng),分辨率達(dá)磁感應(yīng)電渦流丈量原理_磁吸力丈量原理及測(cè)厚儀_電渦流原理的測(cè)厚儀到0.1um,答應(yīng)誤差達(dá)1%,量程達(dá)10mm。
產(chǎn)品采用電渦流原理的,原則上對(duì)所有導(dǎo)電體上的非導(dǎo)電體覆層均可丈量,如航天航空器表面、車(chē)輛、家電、鋁合金門(mén)窗及其它鋁制品表面的漆,塑料涂層及陽(yáng)極氧化膜。覆層材料有一定的導(dǎo)電性,通過(guò)校準(zhǔn)同樣也可丈量,但要求兩者的導(dǎo)電率之比至少相差3-5倍(如銅上鍍鉻)。
高頻交流信號(hào)在測(cè)頭線圈中產(chǎn)生電磁場(chǎng),測(cè)頭靠近導(dǎo)體時(shí),就在其中形成渦流。測(cè)頭離導(dǎo)電基體愈近,則渦流愈大,反射阻抗也愈大。這個(gè)反饋?zhàn)饔昧勘碚髁藴y(cè)頭與導(dǎo)電基體之間間隔的大小,也就是導(dǎo)電基體上非導(dǎo)電覆層厚度的大小。因?yàn)檫@類測(cè)頭專門(mén)丈量非鐵磁金屬基材上的覆層厚度,所以通常稱之為非磁性測(cè)頭。非磁性測(cè)頭采用高頻材料做線圈鐵芯,例如鉑鎳合金或其它新材料。與磁感應(yīng)原理比較,主要區(qū)別是測(cè)頭不同,信號(hào)的頻率不同,信號(hào)的大小、標(biāo)度關(guān)系不同。與磁感應(yīng)一樣,渦流也達(dá)到了分辨率0.1um,答應(yīng)誤差1%,量程10mm的高水平。
0.原則上可以有導(dǎo)磁基體上的非導(dǎo)磁覆層厚度。一般要求基材導(dǎo)磁率在500以上。假如覆層材料也有磁性,則要求與基材的導(dǎo)磁率之差足夠大(如鋼上鍍鎳)。當(dāng)軟芯上繞著線圈的測(cè)頭放在被測(cè)樣本上時(shí),儀器自動(dòng)輸出測(cè)試電流或測(cè)試信號(hào)。早期的產(chǎn)品采用指針式表頭,丈量感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)的大小,儀器將該信號(hào)放大后來(lái)指示覆層厚度。
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